Quang Khắc: Chi Tiết Toàn Tập
Mục Lục Bài Viết
1. Quang Khắc Là Gì?
Quang khắc (Photolithography) là một công nghệ dùng ánh sáng để tạo ra các hoa văn mạch điện siêu nhỏ trên bề mặt chất bán dẫn thường là tấm silicon. Nói cách khác, đây là phương pháp “in vi mạch” với độ chính xác cực cao, cho phép sản xuất hàng tỷ transistor trên một con chip.
Quy trình này giống như cách bạn rọi ánh sáng qua một tấm film để in hình ra giấy ảnh nhưng thay vì ảnh, ta đang tạo ra các lớp mạch điện tử có kích thước chỉ vài nanomet (nhỏ hơn hàng chục nghìn lần sợi tóc người).
Quang khắc là một bước không thể thiếu trong quy trình sản xuất chip bán dẫn. Mỗi con chip đều phải trải qua hàng chục đến hàng trăm lần quang khắc, để tạo nên nhiều lớp mạch chồng lên nhau. Nhờ đó, các thiết bị như smartphone, laptop, máy chủ, xe tự lái… mới có thể hoạt động thông minh, mạnh mẽ như ngày nay.
Quan Khắc đóng vai trò siêu quan trọng trong công nghệ hiện đại ngày nay
2. Kỹ thuật
Quang khắc là tập hợp các quá trình quang hóa nhằm thu được các phần tử trên bề mặt của đế có hình dạng và kích thước xác định. Có nghĩa là quang khắc sử dụng các phản ứng quang hóa để tạo hình.
Bề mặt của đế sau khi xử lý bề mặt được phủ một hợp chất hữu cơ gọi là chất cản quang (photoresist), có tính chất nhạy quang (tức là tính chất bị thay đổi khi chiếu các bức xạ thích hợp), đồng thời lại bền trong các môi trường kiềm hay axit. Cản quang có vai trò bảo vệ các chi tiết của vật liệu khỏi bị ăn mòn dưới các tác dụng của ăn mòn hoặc tạo ra các khe rãnh có hình dạng của các chi tiết cần chế tạo. Cản quang thường được phủ lên bề mặt tấm bằng kỹ thuật quay phủ (spin-coating).
Cản quang được phân làm hai loại
- Cản quang dương: Là cản quang có tính chất biến đổi sau khi ánh sáng chiếu vào sẽ bị hòa tan trong các dung dịch tráng rửa.
- Cản quang âm: Là cản quang có tính chất biến đổi sau khi ánh sáng chiếu vào thì không bị hòa tan trong các dung dịch tráng rửa.
Xem thêm có thể bạn cần
Bài Viết Liên Quan
quang-khac-la-gi
Máy Quang Khắc Là Gì? Có bao nhiêu loại Máy Quang Khắc
Mục Lục Bài Viết1 Máy quang khắc là gì?2 3 Các loại máy quang khắc hiện nay3.1 1. Máy quang khắc i-line (365nm)3.2 2. Máy quang khắc KrF (248nm)3.3 3. Máy quang khắc ArF (193nm – DUV)3.4 4. Máy quang khắc EUV (13.5nm)3.5 5. Máy quang khắc High-NA EUV...
quang-khac-la-gi
Tổng Quan về Card NVIDIA Quadro T2000
Mục Lục Bài Viết1 Các phiên bản Card NVIDIA Quadro T2000 trên Laptop1.1 Bảng so sánh Quadro T2000 và Quadro T2000 Max-Q (Laptop)1.2 Card đạt chứng nhận ISV quan trọng2 Tạm Kết và Ai nên chọn NVIDIA Quadro T2000 Các phiên bản Card NVIDIA Quadro T2000 trên Laptop NVIDIA...
quang-khac-la-gi
NVIDIA Quadro T1000 (Laptop)
Mục Lục Bài Viết1 NVIDIA Quadro T1000 có 2 phiên bản trên Laptop1.1 1. Phiên bản NVIDIA Quadro T1000 Max-Q1.2 2. Phiên bản NVIDIA Quadro T1000 Laptop (bản tiêu chuẩn)2 Card Quadro T1000 đạt chứng nhận ISV3 Tạm Kết NVIDIA Quadro T1000 có 2 phiên bản trên Laptop NVIDIA...
quang-khac-la-gi
NVIDIA Quadro RTX 3000 Laptop Mobile
Mục Lục Bài Viết1 Các phiên bản NVIDIA Quadro RTX 3000 Laptop Mobile hiện nay1.1 1. NVIDIA Quadro RTX 3000 bản tiêu chuẩn (Full Power)1.2 2. NVIDIA Quadro RTX 3000 phiên bản Max-Q2 Card RTX 3000 đạt chứng nhận ISV3 Ai nên chọn NVIDIA Quadro RTX 3000 Mobile?4 1....
